(1) Pre-PVD-behandling, inkludert rengjøring av gjenstander og forbehandling.Spesifikke rengjøringsmetoder inkluderer rengjøringsmiddelrengjøring, kjemisk løsningsmiddelrengjøring, ultralydrengjøring og ionebombardementrengjøring.
(2) Sett dem inn i ovnen, inkludert rengjøring av vakuumkammer og inventar, og installasjon, igangkjøring og tilkobling av gjenstander og inventar.
(3) Støvsuging, vanligvis pumping til 6,6 Pa eller mer, åpne fronten av diffusjonspumpen tidligere for å opprettholde vakuumpumpen og varme opp diffusjonspumpen.Etter at forvarmingen er tilstrekkelig, åpnes høyventilen og pumpes til et 6 x 10-3 Pa halvbunnsvakuum med diffusjonspumpe.
(4) Baking, baking av gjenstandene til ønsket temperatur.
(5) Ionebombardement, vakuumet er generelt 10 Pa til 10-1 Pa, ionebombardementspenningen er en negativ høyspenning på 200 V til 1 KV, og angrepstiden er 15 min til 30 min.
(6) Forsmelting, justering av strømmen for å forhåndssmelte materialet, justering av strømmen for å forhåndssmelte pletteringen og avgassing i 1 min ~ 2 min.Fordampende avsetning.Fordampningsstrømmen justeres etter behov til ønsket avsetningstid er over.Avkjøling, gjenstandene avkjøles til en viss temperatur i vakuumkammeret.
(7) Etter at gjenstandene er tatt ut, lukkes vakuumkammeret, vakuumet evakueres til l × l0-1Pa, og diffusjonspumpen avkjøles til tillatt temperatur før vedlikeholdspumpen og kjølevannet kan slås av.